Индиево-калаен оксид
Индиево-калаен оксид (Шаблон:Lang или съкратено ITO) e полупроводников материал, прозрачен за светлината от видимия спектър. Той е смесен оксид, който се състои от 90% индиев(III) оксид (In2O3) и 10% калаен(IV) оксид (SnO2).
Свойства
Като легиращ примес калаеният (IV) оксид предизвиква необходимите нарушения в кристалната решетка на индиевия оксид, които водят до по-добра електропроводимост. Тънките слоеве от около 200 nm, нанесени върху стъкло при около 400 0С показват висока прозрачност и имат повърхностно съпротивление от около .
Области на приложение
Благодарение на това, че е едновременно прозрачен и проводящ, материалът се използва за производството на прозрачни електроди за течнокристални монитори, органични светодиоди и сензорни екрани (Touchscreen). Намира още приложение в тънкослойните соларни клетки и за окабеляване в полупроводниковите сензори. Инфрачервените лъчи се отразяват силно от ITO и затова се използва като термозащита в стъкла за прозорци. Същевременно могат да се покриват различни повърхности, например изкуствени материали, за да не се натрупват електростатични заряди. Това свойство се използва при пакетирането на високочувствителни електрически части.
Използвани методи за покритие
Индиево-калаеният оксид се нанася с различни методи, в зависимост от нужната прозрачност и материала на подложката. Когато тя е от стъкло и с неголеми размери се прилага термично изпарение във висок вакуум, но то е приложимо когато покриваните части могат да се нагреят до 360 0С. За големи площи най-често използваният метод е катодното разпрашване.
При изкуствени материали е възможно нанасяне на слой чрез изпарение при стайна температура, след което слоевете имат метален блясък и са непрозрачни. За да се постигнат необходимите прозрачност и специфична проводимост се прилага термична обработка в кислород при 360 0С и атмосферно налягане.
Друга възможност е методът сол-гел, който се използва при тънки, но на голяма площ, слоеве. Така подложките могат да се покрият като се потопят, напръскат, щамповат или центробежно. Но този метод е неудачен за много приложения (например за LCD и OLED) заради неравномерната дебелина на покриване.
Алтернативни материали в полупроводниковата индустрия
Заради високата цена на индия, достигната през последните години, покритията от ITO са много скъпи. Това води до интензивни изследвания на други съединения със сходни прозрачно-проводящи свойства. Основните кандидати са: